发布日期：2026-02-18 11:33    点击次数：119

国度学问产权局信息显现，华海清科股份有限公司央求一项名为“一种具有小体积气液隔离箱的晶圆照顾开拓及晶圆照顾样式”的专利，公开号CN121513539A，央求日历为2026年1月。

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专利纲要显现，本央求提供了一种具有小体积气液隔离箱的晶圆照顾开拓及晶圆照顾样式，属于晶圆加工时刻边界。一种具有小体积气液隔离箱的晶圆照顾开拓包括清洗模块，清洗模块包括框架、清洗腔、机械手、液路箱及隔离箱，机械手诞生于框架的上部，清洗腔诞生在框架的中部，液路箱和隔离箱均诞生于框架的下部；隔离箱顶部设有进口管，隔离箱上部设有排气管，底部设有排液管，进口管延长至隔离箱里面的下部区域，隔离箱的横截面积比较进口管的横截面积急剧增大，负气流放慢、压损减小，幸免隔离箱失压导致液体反流沾污晶圆的情况，百家乐隔离箱遴选小体积结构，幸免占用框架外的空间，为开拓的教悔和珍爱以及晶圆的传输提供了更大空间。

天眼查贵寓显现，华海清科股份有限公司，成就于2013年，位于天津市，是一家以从事专用开拓制造业为主的企业。企业注册老本35365.1991万东说念主民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标神志258次，财产印迹方面有商标信息65条，专利信息790条，此外企业还领有行政许可31个。

声明：市集有风险，投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不组成个东说念主投资刻薄。

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